湖南师范大学物电院高性能电子书曝光系统单一来源采购公示单一来源公示
| 湖南师范大学 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 物电院高性能电子书曝光系统 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 单一来源采购公示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 公示日期:2020年12月31日 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采购人的物电院高性能电子书曝光系统拟进行单一来源采购,现将有关事项公告如下: | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 一、采购项目名称:湖南师范大学物电院高性能电子书曝光系统。 预算金额:¥ *** | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 二、拟采购货物或者服务的说明 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 三、拟定单一来源采购供应商的名称、地址 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1.名称:捷欧路(北京)科贸有限公司 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2.地址:北京 北京 西城 阜外大街2号万通新世界广场B座1110 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 四、采购人采用单一来源采购方式的原因及说明 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 目前,湖南省内没有100KV电子束曝光系统。日本JEOL公司JBX-8100FS为高性能电子束曝光系统,拥有100KV加速电压,最高扫描速率125MHz,最大写场1mm*1mm,写场拼接精度和套刻精度优于±20nm;采用100μm*100μm写场时,拼接精度和套刻精度均优于±9nm;最小线宽可以优于8nm;包含真空原味预对准光学显微镜系统,避免电子束扫描照射光刻胶造成曝光,可在大视野中检查样品上的图案,通过购买JEOL JBX-8100FS,完善湖南省超导量子器件和声学芯片制备工艺线。。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 五、第三方专家对供应商专利、专有技术等唯一性论证的意见 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 六、公示期限:自2021-01-01至 2021-01-08止 ,共计5个工作日。任何供应商、单位或个人对采用单一来源方式公示有异议的,可以向采购人以书面形式实名反映,并抄报监管部门。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 七、采购人名称、联系人和联系方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1、采购人名称:湖南师范大学 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 地址: | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 联系人:采购人肖华 | 联系电话:07******2366 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2、监管部门名称: 湖南省财政厅政府采购处 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 地址:长沙市城南西路一号 | 联系电话:85****** | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 本公告期限不得少于5个工作日 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||