清华大学2021年4月政府采购意向-电子束曝光系统详细情况

<div class="pubtable"> <table border="0" cellspacing="1" bgcolor="#bfbfbf" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">电子束曝光系统</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="/cgyx/pub/details?groupId=6e2a95ff-33c8-4a57-9918-5a889ec5f668" target="_blank">清华大学2021年4月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>清华大学</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>电子束曝光系统</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">A02100111 自动成套控制系统 A02100305 电子光学及离子光学仪器；</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">拟采购电子束曝光系统一套，用于低维量子材料器件制备。要求： 1.投标产品应配置必要的硬、软件。投标产品不低于以下配置：高分辨场发射扫描电子显微镜1套；二次电子探测器不少于2套；原装进口空气压缩机和冷却循环水系统各1套；系统实时束流监测器1套；电子光路内置静电电子束束闸1套；图形发生器附件1套；不间断稳压电源1套；原装进口主动式减震台1套；碳导电双面胶带2卷；法拉第杯1套。 2.电子枪基本参数：二次电子分辨率≤1.0nm@15kV，≤1.6nm@1kV（无样品台减速模式下的标准模式）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均不小于20V~30kV，加速电压以10V为步进，连续可调； 3.配置镜筒内高分辨二次电子探测器和样品室内二次电子探测器。</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2021-04</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;"></div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div>