中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2021年2至10月政府采购意向-原位Mask器件级图案化分子束外延设备详细情况

<div class="pubtable"> <table border="0" cellspacing="1" bgcolor="#bfbfbf" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">原位Mask器件级图案化分子束外延设备</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="/cgyx/pub/details?groupId=a20e06fd-5ea5-456e-9e4f-dfd991d6bde3" target="_blank">中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2021年2至10月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>原位Mask器件级图案化分子束外延设备</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">A032199-其他电工、电子专用生产设备</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">拟采购原位Mask器件级图案化分子束外延设备设备1台，不仅具备优异的二维材料制备功能（可制备石墨烯、硒化物等多种新颖的二维材料），同时具备从材料生长到原型器件制作的能力。满足条件预处理室本底真空度优于5×10-10 mbar，衬底温度可达850℃；生长室本底真空度优于2×10-10 mbar，衬底温度可范围100 K至1473K，2英寸衬底上生长的材料均匀性优于±1.5% ；掩膜板腔体本底真空度优于5×10-10 mbar，掩膜精度2微米。以实际公告为准。</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2021-10</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;"></div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div>