浙江大学杭州国际科创中心关于步进式光刻机单一来源采购公示

<style id="fixTableStyle" type="text/css">th,td {border:1px solid #DDD;padding: 5px 10px;}</style> <p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">一．采购人名称：</span></strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浙江大学杭州国际科创中心</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">二．单一来源编号：</span></strong><span style="font-size:11px;line-height: 150%;font-family:微软雅黑">/</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">三．采购项目名称</span></strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">：步进式光刻机</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">四．采购项目概况：</span></strong></p><table cellpadding="0" width="593" style="width:100%;border-collapse:collapse;"><tbody><tr class="firstRow"><td width="29" style="border: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">序号</span></strong></p></td><td width="134" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">项目名称</span></strong></p></td><td width="74" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">数量</span></strong></p></td><td width="74" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">单位</span></strong></p></td><td width="111" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">预算金额</span></strong></p></td><td width="102" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">简要规格描述</span></strong></p></td><td width="54" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">备注</span></strong></p></td></tr><tr><td width="29" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">1</span></p></td><td width="134" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">步进式光刻机</span></p></td><td width="74" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">1</span></p></td><td width="74" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">台</span></p></td><td width="111" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">1098</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family: 宋体">万元人民币</span></p></td><td width="102" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">详见单一来源采购专家论证报告</span></p></td><td width="54" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;"><br/></td></tr></tbody></table><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">五．拟采用的采购方式</span></strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">：单一来源采购方式</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">六．申请理由</span></strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family: 宋体">：</span></p><p style="text-align:left;text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">半导体器件的工艺制造过程需要多次使用光刻工序定义微观图形，步进式光刻机是微纳加工技术图形转移的关键设备之一，在半导体产业中具有广泛的应用。步进式光刻机Nikon illd可以补足平台6、4寸晶圆光刻工艺能力，其图像分辨率达到0.4μm，套刻精度达到80nm，适合于功率、射频、光电等多种领域半导体芯片的研发与生产。</span></p><p style="text-align:left;text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">目前市面上的二手步进式光刻机设备都是个别大型半导体厂商更新换代之后将老一代的设备进行出售，货源很少，而采购方居多，导致设备供不应求，时间有效性极短。由供应商上海赛瑾精密科技有限公司提供的步进式光刻机Nikon illd，是因半导体产线上的设备升级而替换下来的热机机台，设备状况良好，功能齐全，稳定可靠，能满足平台技术指标要求。供应商工程师队伍实力雄厚，具备针对平台布局的第三代半导体技术的晶圆传送系统和套刻光学系统的改造能力。公司在上海设有备品备件仓库，配件充足，且可以提供两年免费的质保服务，在质保期外仍能长期提供优惠的售后服务，包括提供常规备品备件和设备维修服务等。设备改造交期短，可以满足4个月内交货的要求。</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">八．拟定供应商：</span></strong></p><p style="text-align:left;text-indent:24px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:微软雅黑">1</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">、拟定供应商名称</span></p><p style="text-align:left;text-indent:24px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">上海赛瑾精密科技有限公司</span></p><p style="text-align:left;text-indent:24px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:微软雅黑">2</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">、拟定供应商地址</span></p><p style="text-align:left;text-indent:24px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浦东新区宣桥镇宣秋路210号A幢2楼南侧201室</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">九．论证专业人员信息及意见：</span></strong></p><table cellpadding="0" style="width:100%;border-collapse:collapse;"><tbody><tr style=";height:20px" class="firstRow"><td width="132" valign="top" style="border: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">专业人员姓名</span></strong></p></td><td width="132" valign="top" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">专业人员工作单位</span></strong></p></td><td width="133" valign="top" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">专业人员职称</span></strong></p></td></tr><tr style=";height:20px"><td width="132" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">李超荣</span></p></td><td width="132" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浙江理工大学</span></p></td><td width="133" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">教授</span></p></td></tr><tr style=";height:20px"><td width="132" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">张军明</span></p></td><td width="132" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浙江大学</span></p></td><td width="133" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">教授</span></p></td></tr><tr style=";height:20px"><td width="132" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">孙一军</span></p></td><td width="132" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浙江大学</span></p></td><td width="133" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">研究员</span></p></td></tr><tr style=";height:20px"><td width="132" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">姚文熙</span></p></td><td width="132" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浙江大学</span></p></td><td width="133" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">副教授</span></p></td></tr><tr style=";height:20px"><td width="132" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">郭清</span></p></td><td width="132" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">浙江大学</span></p></td><td width="133" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 5px;" height="20"><p style="text-align:center;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">副教授</span></p></td></tr></tbody></table><p style="text-align:left;text-indent:24px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">具体论证意见：</span></p><p style="text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">1</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">、半导体器件的工艺制造过程需要多次使用光刻工序定义微观图形，步进式光刻机是微纳加工技术图形转移的关键设备之一，在半导体产业中具有广泛的应用。步进式光刻机Nikon illd可以补足平台6、4寸晶圆光刻工艺能力，其图像分辨率达到0.4μm，套刻精度达到80nm，适合于功率、射频、光电等多种领域半导体芯片的研发与生产。</span></p><p style="text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">2</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">、目前市面上的二手步进式光刻机设备都是个别大型半导体厂商更新换代之后将老一代的设备进行出售，货源很少，而采购方居多，导致设备供不应求，时间有效性极短。</span></p><p style="text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">3</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">、供应商上海赛瑾精密科技有限公司提供的步进式光刻机Nikon illd，是因半导体产线上的设备升级而替换下来的热机机台，设备状况良好，功能齐全，稳定可靠，能满足平台技术指标要求。供应商工程师队伍实力雄厚，具备针对平台布局的第三代半导体技术的晶圆传送系统和套刻光学系统的改造能力。公司在上海设有备品备件仓库，配件充足，且可以提供两年免费的质保服务，在质保期外仍能长期提供优惠的售后服务，包括提供常规备品备件和设备维修服务等。设备改造交期短，可以满足4个月内交货的要求。</span></p><p style="text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">综上，专家组经讨论评议，一致同意：以单一来源采购方式采购步进式光刻机。</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">十．其它事项：</span></strong></p><p style="text-align:left;text-indent:24px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（本公示发布之日后的第</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:微软雅黑">5</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">个工作日），以书面形式向采购人提出异议。</span></p><p style="text-align:left;line-height:150%"><strong><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">十一．联系方式</span></strong></p><p style="text-align:left;text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">采购人名称：浙江大学杭州国际科创中心</span></p><p style="text-align:left;text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">联系人：张老师</span></p><p style="text-align:left;text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">联系电话：0571</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">-</span><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">82******</span></p><p style="text-align:left;text-indent:21px;line-height:150%"><span style="font-size:11px;line-height:150%;font-family:宋体">地址：浙江省杭州市萧山区建设三路733号</span></p><p><br/></p><divider></divider><p style="white-space: normal; line-height: 24px;"><strong><span style="line-height: 24px; font-family: 宋体;">附件信息:</span></strong></p><ul class="fjxx" style="font-size: 16px;margin-left: 38px;color: #0065ef;list-style-type: none;"><li><p style="display:inline-block"><a href="https://zcy-gov-open-doc.oss-cn-north-2-gov-1.aliyuncs.com/1014AN/339900/10******8/20212/37e1245b-557d-4f20-a05a-98965d00b6a3">专家论证意见.pdf</a></p><p style="display:inline-block;margin-left:20px">777.3 KB</p></li></ul>