中国科学院近代物理研究所2021年3至12月政府采购意向-聚焦离子束扫描电子显微镜详细情况

A02100301显微镜

标的名称：聚焦离子束扫描电子显微镜 功能和目标：用于金属、半导体、多层膜等固体样品上制备微纳结构、高质量定点TEM样品、原子探针样、离子束刻蚀和沉积、电子束沉积。高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。为开展先进核能系统关键材料的评价和筛选提、开展辐照环境、重离子极端条件下的国际前沿研究等提供优异的实验条件和测试支撑。 数量：1套 技术指标： 离子光学系统：液态Ga离子源；离子束流范围：1pA-100nA；离子加速电压范围：500 V到30 kV；离子源分辨率：优于4 nm@30kV。 电子光学系统：电子枪类型：肖特基场发射灯丝；电子束加速电压范围：200 V-30 kV；电子束分辨率：优于1nm。 样品台：样品台X/Y移动范围：大于100mm；Z范围：大于50mm；样品台旋转：360度；样品台倾斜范围：-4°到70°；XY重复精度：优于3um。