华东师范大学2021年4至12月政府采购意向-等离子增强化学气相沉积PECVD详细情况

A021099其他仪器仪表

在微纳器件加工中，覆盖良好的无机和有机薄膜作为结构层或者牺牲层是必不可少的步骤。等离子体增强化学气相沉积的主要优点是沉积温度低，对基体的结构和物理性质影响小；膜的厚度及成分均匀性好；膜组织致密、针孔少；膜层的附着力强；应用范围广，可制备各种无机膜和有机膜。