华东师范大学2021年4至12月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀系统详细情况

A021099其他仪器仪表

在微纳加工过程当中，选择性刻蚀和方向性刻蚀是非常重要的。感应耦合等离子体刻蚀的优点在于可以选择性方向性地刻蚀特定的材料。其工作原理是利用离子源引出的离子束，直接轰击工件，将工件上未被掩膜遮蔽的部分材料溅射出来，实现选择刻蚀的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程，在各种常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点。