华东师范大学2021年4至12月政府采购意向-净化室及其配套详细情况

A021099其他仪器仪表

良好的净化室环境是微纳米加工的前提和基础，具有整体的微纳配套环境，包括去离子水、冷却水、压缩空气系统、集中真空系统、气体、管路、去尘、除湿、新风、空调等系统的微纳平台是开展微纳工艺，包括图形加工、薄膜制备、刻蚀、热处理及微纳器件表征的必要硬件基础。改平台将弥补华东师范大学内无大型超净间的不足，解决相关教学实验和科研工作硬件基础缺乏的问题。