华东师范大学2021年4至12月政府采购意向-多轴高精度气浮运动平台详细情况

A021099其他仪器仪表

气浮平台的核心原理是由空气轴承结合电控元件构成的精密位移平台。气浮平台在较大的移动范围内，位移精度误差可以达到亚微米级以内的超高精度，在精度及精度稳定性方面远远超过THK等滚珠机械结构的线性导轨（线轨）所构成的平台。高精度高稳定性的运动平台适用于精密控制样品的空间移动，并用于曲面加工。