华东师范大学2021年4至12月政府采购意向-多靶高温氧化物磁控溅射仪详细情况
2021-03-08 10:20:00
| 多靶高温氧化物磁控溅射仪 | |
| 项目所在采购意向： | 华东师范大学2021年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华东师范大学 |
| 采购项目名称： | 多靶高温氧化物磁控溅射仪 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 在微纳器件加工中，粘附层和绝缘层的氧化物制备是必不可少的工序。磁控溅射具有易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，可满足高质量氧化物粘附层和绝缘层的制备要求。特别针对氧化物介质薄膜具有高温加热功能及高氧压的原位观测系统，可满足高质量氧化物薄膜的大规模制备要求 |
| 预计采购时间： | 2021-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。