华东师范大学2021年4至12月政府采购意向-电子束曝光系统详细情况
2021-03-08 10:20:00
| 电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华东师范大学2021年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华东师范大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 纳米级别的图形化处理过程当中，电子束曝光机是必不可少的设备，它具有普通光刻机无法到达的10纳米以下的线条精度。电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。采用电子束直接曝光的方法，制作纳米图形结构，用于各种微纳器件与纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可用于直写高精度的光刻模板。其具有加工精度高，速度快，自动化程度高等特点，从而具有比较高的工作效率。加工样品不需要掩膜版制备，使得图形能够灵活多变，非常适用于科研探索。该项技术已成为国内外竞相发展和利用的重要研究手段，用来开展国际前沿领域的科学研究工作，将为提高学校的科研影响力做贡献 |
| 预计采购时间： | 2021-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。