中国科学院兰州化学物理研究所2021年5月政府采购意向-飞行时间二次质谱仪详细情况

A02100407-质谱仪

飞行时间二次质谱仪，使用一次脉冲离子轰击固体材料表面，通过表面激发出的二次离子的飞行时间测量其质量, 以表征材料表面的元素成分（H~U）、同位素、分子结构、分子键接等信息。TOF-SIMS可以分析所有的导体，半导体，绝缘材料; TOF-SIMS的分析深度2 nm左右，横向空间分辨率可达70 nm; 能鉴别高质量数的有机大分子；探测灵敏度很高，可以达到ppb量级；可进行2D和3D成像来表征成分的分布；对于材料表面成分及分布，表面多层结构/镀膜成分，表面异物残留(污染物、颗粒物、腐蚀物等)，表面痕量掺杂，表面改性，表面缺陷（划痕、凸起等），有机和无机半导体器件等有很好的表征能力。