中山大学2021年4月政府采购意向-磁控溅射薄膜沉积系统详细情况
2021-03-26 10:32:00
| 磁控溅射薄膜沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2021年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 磁控溅射薄膜沉积系统1台。用于生长氧化物或者氮化物半导体外延薄膜，参数：具有三个以上靶座，可形成多层复合膜及实现金属共溅射；分子泵抽速≥1300L/s；直流和射频功率≥500 W，全自动功率匹配射频电源；样品座可旋转，100 nm薄膜均匀性误差：±5%（4英寸）。 |
| 预计采购时间： | 2021-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。