天津大学2021年4至5月政府采购意向-天津大学微电子学院半自动高效高低温探针台测试系统采购项目详细情况

A02080604微波通信用载波通信设备

采购标的名称：半自动高效高低温探针台测试系统。 采购标的需实现的主要功能：在片自动化测试系统包含是射频微波器件研发测试的重要系统，探针台配合专业的仪器搭载典型的测试电路，配置超低漏电流探针，用于IEEE 802.11 WLAN产品射频指标测试，完成对器件参数的有效的提取，给芯片的设计改进和研究提供依据。 采购标的数量：1台。 采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求： *1、12寸半自动探针台和1寸手动探针台，同一厂家 *2、频率范围：DC-110GHz 　 3、X/Y轴指标 Travel Range ≥305 mm x 520 mm Accuracy ≤±2.0um Resolution ≤0.5um Repeatability ≤1um Move speed ≥50 mm/sec *4、Z轴指标 Travel Range≥30 mm Accuracy ≤ ±2.0um Resolution≤0.2um Repeatability≤1um Move speed≥50 mm/sec *5、Theta轴指标 转动角度范围 ≥5°Resolution≤0.0001° *6、