东南大学2022年7月政府采购意向-等离子体干法去胶机详细情况
2022-05-30 04:49:00
| 等离子体干法去胶机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体干法去胶机 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1台。
1. 等离子灰化仪主机
设备具有可紧急停机的安全按钮; 具有内置的安全连锁报警系统。
2. 铝质反应室，基础真空度约为100mtorr；工作真空度约为200—2000mtorr。具有观察窗，反应室内部尺寸为229 mm×330mm×483mm
3. 气体系统抽气：采用无油干泵。真空测量：热偶真空规。气体输送：两路质量流量控制器 (MFC)，最大流速500 scc/m。
4. 电源系统：电极：5层可抽卸电极板托盘；RF电源：13.56MHz, 最大功率600W，带有脉冲模式功能；阻抗自动匹配功能；等离子灰化仪主机电源：220V/50Hz，10A；真空泵电源：220V/50Hz，10A |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。