东南大学2022年7月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积系统详细情况
2022-05-30 04:49:00
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1台。
4~8寸，SiO2、SiN、BPSG、PSG等沉积工艺;RF功率：13.56MHz
•8寸，向下兼容
•工作压强：0.5-1.0torr
功率密度：0.02-0.1Wcm-2 |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。