东南大学2022年7月政府采购意向-8寸光刻机MaskAligner详细情况

A033499其他专用仪器仪表

购置1台。 1.最大晶圆尺寸： 8英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片； 2.曝光光源：UVLED曝光光源支持 365nm、 405nm、 435nm； 3. 分辨率：优于0.8 um； 4. 光强均匀度：优于±2.5％ 5. 配置消衍射及微镜式光学系统； 6. 曝光模式：可支持接近式，硬接触、软接触和真空接触等模式； 7. 支持正面对准和背面对准两种对准方式 8. 套刻精度：正面套刻精度±0.5um；背面套刻精度：±1um； 9. 具备全自动对准模式； 10. 正面对准采用全数字分离视场显微镜,正面对准显微镜镜采用5倍，10倍，显微镜倍率:76X ～ 1216X ,屏幕分辨率：0.4um/像素，对准显微镜分离距离调节范围：29-150mm； 11. 背面对准全自动分离视场显微镜，X-Y方向全自动控制，显微镜倍率:81X ～ 648X，屏幕分辨率：1.1um/像素 12.对准台行程的范围： X：±5mm； Y：±5mm；θ：±5°, XY方向机械调节分辨率：40nm,角度方向机械调节分辨率：0.00002°； 13.支持倾斜角度曝光系统，倾斜曝光入射角为45°和60°。