东南大学2022年7月政府采购意向-旋涂-烘烤一体机详细情况
2022-05-30 04:49:00
| 旋涂-烘烤一体机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 旋涂-烘烤一体机 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1台。
最大支持8寸晶圆。
1,最大支持50个涂胶程序，每个程序支持最大24步
2,RCCT关盖涂胶系统，基片与盖板之间的高度可调节，此系统可减小溶剂挥发速度，减小空气湍流，增加涂胶均匀性，对方片和碎片涂胶效果改善明显。
3, 旋转速度：0 –6000rpm +/-1rpm(如果基片小于8寸，最大支持可选10000rpm)
4，加速度：0 – 6000rpm in 0.6 sec
5，配置保护碗，方便腔室清洗
6，标准圆片涂胶均匀性±2%（厚胶边除外）
7，热板最大面积：250x250mm，温度均匀性高，表明阳极化处理,
8，最高温度250°C
9，温度均匀性: +/- 0.5°C@100°C. |
| 预计采购时间： | 2022-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。