中国科学院微电子研究所2022年6至12月政府采购意向-等离子增强原子层沉积系统详细情况
2022-05-31 10:52:00
| 等离子增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2022年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 等离子增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A032199-其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 用于生长金属氧化物半导体材料与high—K介质层；
标的数量：1
质量、服务、安全、时限要求：等离子体最大功率300w；可以提供8寸晶圆生长的腔体；前驱体数量4≤；工艺温度20℃-500℃；提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2022-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。