中国科学院微电子研究所2022年6至12月政府采购意向-测振仪模块详细情况
2022-05-31 10:52:00
| 测振仪模块 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2022年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 测振仪模块 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A032199-其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 提供MEMS传感系统的振动测试与性能分析。通过对表面形貌的静态结构分析、面内振动和面外振动的动态运动分析，该系统完成MEMS静态和动态的亚像素级别三维形貌、最高25MHz固有频率、最大分辨率5nm的振幅、品质因数、最高25MHz带宽以及瞬态响应的测量。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。