中山大学2022年6月政府采购意向-微电子科学与技术学院原子层沉积系统采购项目详细情况

A02100502非金属材料试验机

原子层沉积系统，数量：1套。该设备用于学院科研使用。技术要求：1.干泵；2.工艺反应腔：外腔单元、压力传感器、内反应腔单元、腔体加热器、等离子体发生器、颗粒收集器单元、4路源管线单元（高压源-冷源）、2路源管线单元（低压源-热源）、2路源管线单元（低压源-热源）;3.电器柜单元；4.兼容8寸及以下晶圆沉积。交付时间要求：签订合同后八个月内。交付地点要求:中山大学珠海校区公共实验楼2层。售后服务要求（含培训）：1.设备原厂免费保修期不少于2年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；2.供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；3.收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试；4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；5.每年至少提供一次免费上门检修服务。

欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=ff71d5d5d9dc4d4c821ad88566fe50c8&tenant=2198&token=1