南京大学2022年7月政府采购意向-多材料高真空蒸发镀膜设备详细情况

A02052402 真空应用设备

南京大学拟多材料高真空蒸发镀膜设备一台。主要参数要求： 1、真空室 尺寸：≥φ1500mm×1700mm； 材质：304不锈钢或与其相同规格； 真空室门、外壁、底板均配有循环冷却水管，门上有不少于两个观察窗（用于观察蒸发源、基片架等），须配备防强光和电子束辐射的玻璃和观察窗防污挡板；真空室内壁挡板便于拆装，护板数量2套； 2、真空系统技术指标： 极限真空 (抽气24小时的抽气后): p≤ 5x10E-7 mbar； 漏率: 保压30分钟后测试，q ≤8x10E-5 mbar.l/s； 恢复真空时间 (到p= 8x10E-6 mabr）＜30 分钟 ； 3、 真空系统配置防湍流装置及其完善的功能配置，具有慢抽气和慢放气功能。质保期：验收结束后1年。