南京理工大学2022年8月政府采购意向-MOEMS滤光模块自动筛选参数测试系统详细情况

<div class="pubtable"> <table border="0" cellspacing="1" bgcolor="#bfbfbf" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">MOEMS滤光模块自动筛选参数测试系统</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="/cgyx/pub/details?groupId=eff0fd52-6782-4c8f-b402-e2aba55f13eb" target="_blank">南京理工大学2022年8月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>南京理工大学</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>MOEMS滤光模块自动筛选参数测试系统</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">电子工业专用生产设备</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">本系统由全自动探针台、LCR测试仪以及相关的软硬件附件组成。可以实现晶圆原片的全自动LCR参数测试。 1.探针台技术指标 （1）设备适用于硅片直径：（150±0.2）mm；硅片厚度：150μm~900μm； （2）全自动探针台由主机（包括控制器及接口等）、承片台（Wafer chuck）、晶圆装载（Loader）单元、对准（alignment）单元、控制面板、移动传感器、显微镜、打点器、报警灯等模块构成。 （3）承片台：可承受的最大电压：2000V，最大电流50A，镀金密孔盘（高密度真空吸附孔）； （4）X/Y方向定位精度：0.5μm，X/Y累计偏差（0-150mm）：±4μm，X/Y方向最大移动速度：200mm/sec； （5）Z轴控制精度：±2μm，测试时上下最大移动范围：0~500μm，升降总长：69mm，速度：35msec/0.5mm； （6）θ轴调整范围：±5°； （7）晶圆装载：盒对盒装载，支持13片盒和25片盒（SEMI制造标准）（需方提供片盒）； （8）晶圆传送装置：手臂传输； （9）晶圆align对准要求为光学自动对位； （10）配置CCD图像显示及显示器，可清晰显示芯片探卡扎针痕迹与形貌； （11）对被测晶圆具有全封闭遮光结构； （12）配置GPIB或TTL标准接口； （13）配置自动打点器，测试后可打点，动作时间：15ms~300ms，支持整批自动打点； （14）扎针：包括每种晶圆首片在内的所有晶圆自动扎针。 （15）设备型号为半导体大型FAB主流机型。 2.LCR测试技术指标 （1）频率范围和测试频率点 本系列测试频率最大范围从20Hz至2MHz,最小分辨率为：0.001Hz。 （2）信号输出能力： 信号电平：20VAC/100mA； 直流偏置：±40VDC/100mA； 电压电平范围：5mV？20V; 电流电平范围：50uA？100mA; （3）扫描类型: 设置扫描曲线对应的主要条件，即频率[Hz]、电平[V]、电平[A]、偏置[V]、 偏置[A]； （4）测量电容速度≥2ms； （5）电源：AC220V±10%.47～63Hz； （6）校准功能：开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD； （7）程控接口至少具备下列之一： LAN 网络接口，实现网络系统的控制与通讯； USB 通讯接口，实现与电脑的联机通讯； RS232C 串行接口，实现与电脑的联机通讯； （8）测试线缆长度：0-1000mm（仪表带有因线缆的长度衰减而造成校验补偿功能；</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2022-08</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;"></div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div>