浙江求是招标代理有限公司关于杭州极弱磁场重大科技基础设施研究院碱金属气室气体保护键合系统的更正公告

最高限价：99万元

最高限价：99.5万元

获取比选文件的时间期限：1.时间期限：2022年8月23日至2022年8月30日（双休日及法定节假日除外）

上午8:30-11:30、下午13:00-17:00。

获取比选文件的时间期限：1.时间期限：2022年8月23日至2022年9月6日（双休日及法定节假日除外）

上午8:30-11:30、下午13:00-17:00。

比选截止时间、开标时间：2022年8月30日下午14:00:00

比选截止时间、开标时间：2022年9月7日下午14:00:00

第二章采购需求 三、技术背景/目录

①1.2 采购一套碱金属气室键合系统，在load搭建手套箱形成保护气体环境，手套箱内可放置简单hot plate，空间上普通双手手套箱即可。

②3.4.1最高升温速度≥30℃/min；

③3.4.2最高降温速度≥18℃/min；

④★3.5.3气压控制范围：1-1000mbar；

⑤★3.6.1最高键合电压：2KV；电流：15mA；

⑥★4.5.4腔体配有观察窗及腔内照明，可以通过观察窗随时查看实时键合状况；

⑦★4.6.2配置冷却系统实现快速冷却，程序可控降温速率。

⑧★4.7.2配置石墨压板组件，可满足两层和三层晶圆叠层键合；

⑨★4.7.4 电机驱动的纵轴可在程序中设定，自动调整适应硅玻璃叠层厚度；

⑩★4.11.3 每套手套箱都带百级高效过滤系统。

第二章采购需求 三、技术背景/目录

①1.2 采购一套碱金属气室键合系统，在load搭建手套箱形成保护气体环境，手套箱内可放置简单hot plate，空间上普通双手手套箱即可。

②3.4.1最高升温速度≥30℃/min；升温速率由功率控制，采用PID 控制模式

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④★3.5.3气压控制范围： 负压（绝对压力）：10-200mbar 正压（相对压力）：0-3000mbar

⑤★3.6.1最高键合电压：1KV；电流：15mA；

⑥★4.5.4观察窗外照明，可以通过观察窗随时查看实时键合状况，如充正压，需将观察窗换为盲板，且插板阀前端需用定制的盲板封死，防止分子泵、插板阀损坏以及观察窗破裂带来安全隐患；

⑦4.6.2 设备无主动制冷。

⑧★4.7.2配置钨材质压头，可满足两层和三层晶圆叠层键合；可满足两层和三层晶圆叠层键合；

⑨4.7.4设备通过冲压波纹管伸缩，自动调整适应硅玻璃叠层厚度

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