浙江大学2022年11月政府采购意向-激光直写曝光系统详细情况

<html><body><div class="pubtable"> <table bgcolor="#bfbfbf" border="0" cellspacing="1" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">激光直写曝光系统</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=9f592b59-b5c3-4fc8-9752-87abb070dc5c" target="_blank">浙江大学2022年11月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>浙江大学</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>激光直写曝光系统</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">A033499其他专用仪器仪表</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">名称：激光直写曝光系统 主要功能：该设备为高精密无掩模激光直写系统，主要利用无掩模激光直写，将设计图形直接曝光到涂覆有光刻胶的衬底材料上，具有自动对准套刻功能和超快速的曝光速度。光源为375nm激光光源。最小结构尺寸0.6微米。衬底尺寸3X3平方毫米至6“X6”。衬底厚度0-12毫米。微纳器件的高质量高精度加工生产，对于低维物理器件的进一步研究发展和产业化具有重要意义。该设备无需用掩膜加工，大幅节约了掩模加工费用，灵活性高，加工精度高、面积大、速度快，能为重大科研任务提供必需的加工平台支撑。设备拟实行开放共享服务，有效提高设备的利用率，为校内外其他低维器件领域的研究提供小批量实验加工平台。 采购数量：1套 质量：满足国家相关质量标准或原产地质量标准。 服务及时限：对相关的技术问题能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：简单问题供方国内工程师3个工作日上门检修，复杂问题供方国外工程师3-6周内上门检修。</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2022-11</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">无</div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div> </body></html>