复旦大学2022年11月政府采购意向-应用表面物理国重国家级平台能力提升项目-聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统详细情况

<html><body><div class="pubtable"> <table bgcolor="#bfbfbf" border="0" cellspacing="1" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">应用表面物理国重国家级平台能力提升项目-聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=36245061-f72c-42d8-a3fd-6273da68e120" target="_blank">复旦大学2022年11月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>复旦大学</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>应用表面物理国重国家级平台能力提升项目-聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">A032103电子工业专用生产设备</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">本次科研仪器设备工作方案紧密围绕国家重大需求和解决重大科学问题的根本任务，并结合实验室的主要研究方向而展开。 微纳加工是目前信息器件制备中不可或缺的手段。纳米级别的高精度聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统结合了聚焦离子束减材加工的能力与离子/针尖辅助沉积的纳米增材制造，可以应用于半导体、金属乃至超导体的纳米加工制备。 传统基于Ga离子的聚集离子束纳米加工手段主要利用离子对材料的轰击溅射进行减材。这个过程会对材料进行Ga离子注入，破坏几十纳米范围内的晶体结构，因此不太适合超导器件核心-约瑟夫森结的加工。使用稀有气体等离子源的聚焦离子束可以有效减少注入离子对材料的‘毒药’效应，在增减材加工上都有望在纳米尺度制备出高质量器件。这将有力促进微纳量子原型器件的开发。</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2022-11</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;"></div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div> </body></html>