同济大学2022年10至12月政府采购意向-原子层沉积ALD镀膜设备详细情况

<html><body><div class="pubtable"> <table bgcolor="#bfbfbf" border="0" cellspacing="1" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">原子层沉积ALD镀膜设备</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=a7afebea-9294-403d-a136-3016fd6c04f8" target="_blank">同济大学2022年10至12月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>同济大学</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>原子层沉积ALD镀膜设备</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">A9999其他不另分类的物品</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）的采购，可以实现埃量级薄膜厚度的精确制备，膜层致密，将在国内首先开展原子层沉积制备Al+氟化物薄膜的研究，采购数量1套，设备能够实现100-135nm波段高效率反射薄膜的制备。规格参数：沉积样品尺寸：大于φ50*500mm；采用电子束工艺制备氟化物LiF、MgF2和AlF3薄膜；独特的氟气专用管路，专为氟化物镀膜配备；设备具有较好的均匀性；加热方式：分布式沉积加热基板。</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2022-11</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;"></div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div> </body></html>