东南大学2022年10至12月政府采购意向-ibe刻蚀机详细情况
2022-10-28 03:34:00
| ibe刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | ibe刻蚀机 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 购置1套。
1.SIO2,SiN刻蚀速率>300A/min
1) 片内，片间均匀性优于5%@极差法@压环覆盖3mm + 去边5mm，EE8mm
1) Profile:>70°。
2.Ta刻蚀速率>100A/min
1) 片内，片间均匀性优于5%@极差法@压环覆盖3mm + 去边5mm，EE8mm
2)Profile:>60°。
可刻蚀Pt，Au，Ag等非挥发性金属，侧壁无沉积。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。