华中科技大学2022年11至12月政府采购意向-掩膜对准光刻机详细情况

2022-10-28 02:30:00
  • 采购意向
  • 其他采购方式
  • 教育系统
  • 预算***万元
  • 华中科技大学采购
掩膜对准光刻机
项目所在采购意向: 华中科技大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 掩膜对准光刻机
预算金额: ***万元(人民币)
采购品目:
A032103电子工业专用生产设备
采购需求概况 :
曝光面积:8英寸;分辨率:≤ 0.8 μm;特征尺寸:< 0.5 μm。2023年6月到货,现场调试时间不小于一周,验收完成以后保修期3年。
预计采购时间: 2022-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。