浙江大学2022年12月政府采购意向-干法刻蚀设备详细情况

<html><body><div class="pubtable"> <table bgcolor="#bfbfbf" border="0" cellspacing="1" style="margin:auto;text-align:left;"> <tr> <td colspan="2" style="text-align: center;background-color: #d5d5f7;font-size: 16px;">干法刻蚀设备</td> </tr> <tr> <td class="title" style="width: 130px;">项目所在采购意向：</td> <td><a href="http://cgyx.ccgp.gov.cn/cgyx/pub/details?groupId=cf26a3e2-2e67-42e2-9e28-effe099d74cc" target="_blank">浙江大学2022年12月政府采购意向</a></td> </tr> <tr> <td class="title">采购单位：</td> <td>浙江大学</td> </tr> <tr> <td class="title">采购项目名称：</td> <td>干法刻蚀设备</td> </tr> <tr> <td class="title">预算金额：</td> <td>***万元(人民币)</td> </tr> <tr> <td class="title">采购品目：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">A032103电子工业专用生产设备</div></td> </tr> <tr> <td class="title">采购需求概况 ：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;">干法刻蚀设备主要功能： 深硅刻蚀，设备处于领先水平，采购1台，主要技术：真空反应室：提供工艺过程中的真空环境，包括内衬、静电卡盘、真空计、真空开关等。腔室本底真空 ＜0.5 mTorr；腔室漏气率 ＜1.0 mTorr/min；控压范围2~250 mTorr 控压精度0.1 mTorr；静电卡盘ESC 尺寸200mm（8inch notch）；Wafer尺寸、厚度及类型Si 8inch 750um Si wafer；下电极温度范围(CHILLER) -20~40℃ 下电极控温精度(CHILLER) ±0.5℃；下电极控温均匀性(ESC) ±0.5℃ 等离子体系统： 提供 等离子体源和偏压控制， 包括 射频 电源、 全自动 匹配器 等； 立体源SRF1可用功率范围13.56MHz：500~2800W；立体源SRF2可用功率范围13.56MHz：500~2800W；下电极LF可用功率范围400KHz: 40~400W 匹配稳定时间< 3 s；匹配精确度上电极：±1%设定值或±5W，下电极：±10%设定值 气路输送系统：提供Ar/SF6/C4F8/CF4等工艺气体，包括 MFC 、气动阀门等。 排气系统： 用于 反应副产物的排出，包括摆阀、分子泵、干泵等； 分子泵抽速2200L/s，干泵抽速为518m3/Hr。温度控制系统：用于工艺过程中的温度参数控制，包括加热器、控制器等。 传输模块： 机械手，进行晶片的传输 售后要求：售后服务较好，设备质保时间久</div></td> </tr> <tr> <td class="title">预计采购时间：</td> <td>2022-12</td> </tr> <tr> <td class="title">备注：</td> <td><div style="width: 100%;overflow-y:auto;max-height: 200px;word-break:break-all;"></div></td> </tr> </table> <div class="vF_detail_content" style="border:none;margin:0 auto;width:708px;float:none"> <p style="line-height:40px;font-weight:bolder;background:cornsilk;color:crimson;padding:5px;border:1px solid crimson;font-size:14px;text-align: center;margin-left:4px">本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。</p> </div> </div> </body></html>