清华大学2022年12月政府采购意向-氩离子抛光系统详细情况
2022-11-26 10:55:00
| 氩离子抛光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 氩离子抛光系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购氩离子抛光系统一台，主要技术参数：
1、离子源：两束独立可调节的全电磁线圈聚焦氩离子源，无永磁体，离子枪无任何耗材；
2、加速电压范围：100 eV 到 10 keV，满足高电压快速抛光，低电压精细修复；
3、束斑尺寸：300μm到5mm，可连续调节，大束斑实现大面积抛光，小束斑尺寸实现快速加工；
4、离子束束流密度：≥ 10 mA/cm2。可选择单个或者两个离子源工作，每个离子源都有独立法拉第杯直接检测电子束流值；
5、配备液氮冷台及控温系统，温度调节范围-170℃~室温连续可调，一次加注可持续制冷18小时以上，去除离子切割时高温对样品的破坏；
6、抛光速率：500μm/Hr(Si@10keV)；
7、 配备不少于2个横截面切割样品台和2个平抛抛光样品台，实现高通量制样； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。