清华大学2022年12月政府采购意向-高通量多束电子扫描电镜详细情况
2022-11-26 10:55:00
| 高通量多束电子扫描电镜 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 高通量多束电子扫描电镜 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399 其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购高通量多束电子扫描电镜一套，主要技术参数：
电子束分光数目：≥65束。
图像分辨率：≤4 nm(± 1.0)（在1kV~3kV之间）
单个电子束束流范围的下限值≥500pA
并行≥65束电子束总束流大小≥52nA
场发射电子枪稳定度：肖特基热场发射电子枪，稳定度≤2%/小时
加速电压范围和电子束束流均匀度：加速电压在1~3kV，连续可调步长为100V，电子束束流均匀度：≤±10% |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。