清华大学2022年12月政府采购意向-冷冻聚焦离子束详细情况
2022-11-26 10:55:00
| 冷冻聚焦离子束 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 冷冻聚焦离子束 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购冷冻聚焦离子束一台，主要技术参数：
最大束流密度：≥54A/cm2，束流强度：0.05pA - 100nA
高亮度冷场发射灯丝，电子源尺寸小于5nm，能量扩展范围小于0.3eV
三束汇聚系统：电子束、Ga+离子束和Ar+离子束，且照射加工位置为三束汇交交叉点。可通过样品台来控制Ar离子束与样品加工面的角度，Ar+离子束的加速电压：0.5kV~2kV，最大束流强度：≥20nA（加速电压1kV），加工速率：≥10nm/min（加速电压1kV）。
X、Y方向移动范围：0~155mm |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。