清华大学2022年12月政府采购意向-导电和开尔文原子力显微镜详细情况

A02100399 其他光学仪器

拟采购导电和开尔文原子力显微镜一套，主要技术参数： 扫描器结构：采用XYZ集成式、探针上扫描的方式，配有闭环系统，可以准确进行定位。扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动，而样品为完全静止状态，以保证大样品测试的安全和稳定。 扫描器噪音：RMS ≤0.03nm(垂直方向)，横向分辨率≤0.2nm (XY方向)。 进针方式:自动智能自动进针方式(采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式,保护探针及样品,可更容易的得到高分辨的测试要求)。 扫描器范围:XY方向最大扫描范围≥90um, Z方向≥9um。