清华大学2022年12月政府采购意向-ICP深硅刻蚀详细情况
2022-11-26 04:04:00
| ICP深硅刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | ICP深硅刻蚀 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100701其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购ICP深硅刻蚀1套，技术参数要求：ICP源采用平板三螺旋天线，功率范围≤2000W。激发等离子体密度不小于 5×1011 cm-3；下电极采用动态温度控制技术，温度范围-20到250℃，精度±1℃…… |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。