山东大学2023年1月政府采购意向-激光直写光刻系统详细情况
2022-11-27 10:43:00
| 激光直写光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2023年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备,其他电工电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本次采购激光直写光刻系统设备1台，产品需要达到曝光最小线宽600 nm、套刻精度：500 nm、曝光速率280 mm2/min等技术指标，满足高曝光精度、高光刻速率要求。 |
| 预计采购时间： | 2023-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。