清华大学2022年12月政府采购意向-200mm化学机械抛光机详细情况
2022-11-27 10:46:00
| 200mm化学机械抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 200mm化学机械抛光机 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购200mm化学机械抛光机一台，技术要求
晶圆尺寸：4寸、6寸、8寸兼容
材料去除速度：≥300nm/min
表面粗糙度：≤0.5nm（scan area 10um*10um）
晶圆内部不均匀度（WIW NU）：<3%，去边5mm
多晶圆间不均匀度（WTW NU）：<5%，去边5mm
抛光液供液系统：2套
抛光工艺参数数据实时采集和存储
光学和摩擦力终点检测实现精准工艺控制 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。