上海交通大学2022年12月政府采购意向-电子束曝光系统详细情况
2022-11-29 05:10:00
| 电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束曝光技术主要用于10-1000nm级纳米图形电子束直写曝光吗，应用于光学掩膜版制备，深亚微米器件和集成电路的制造。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。