清华大学2022年12月政府采购意向-原子层沉积系统详细情况
2022-11-30 09:45:00
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购原子层沉积系统一套，采购的原子层沉积系统，单片反应腔抽取真空速度在1分钟内达到5x10-2 Torr，前驱源脉冲时间可精确控制到0. 015s，膜厚均匀性：小于±1.5%。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。