西南交通大学2026年6至7月政府采购意向-西南交通大学原子级超精密制造与检测综合系统采购详细情况

A02053400机械设备零部件

采购项目名称：西南交通大学原子级超精密制造与检测综合系统采购。目标功能：原子级超精密制造与检测综合系统采购项目旨在夯实原子级全流程工艺验证硬件基础，拟购置四类核心设备，建成集清洗、刻蚀、缺陷调控与寿命检测于一体的实验体系。主要采购内容：1.晶圆湿法原子级清洗设备采用兆声波辅助化学清洗，实现原子级平坦表面污染物的高效无损去除；2.原子级前驱体射频刻蚀装置基于原子层刻蚀技术，通过自限制序列化反应实现原子级逐层材料去除；3.深紫外辅助原子层缺陷控制设备将深紫外光与化学机械抛光相结合，实现亚纳米级表面缺陷修复；4.原子级精度样件寿命检测设备模拟极端工况，评估关键样件的摩擦磨损性能与服役寿命。